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薄膜物理与电子技术
『简体书』 作者:梁继然 出版:科学出版社 日期:2024-12-01 《薄膜物理与电子技术》针对电子科学与技术、集成电路设计与集成系统的专业特点和需求,将现有的薄膜科学技术发展前沿成果与薄膜物理基础相结合,围绕集成电路、电子器件的要求,建立包含制备工艺、微纳结构、电学性能在内的完整的知识体系,使学生了解工艺、结构、性能之间的影响关系,引导学生利用薄膜的基础知识解决新的 ... |
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