《新型微机电系统与器件》 - 马宗敏 - 西安电子科技大学出版社 - 香港大書城

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『簡體書』新型微机电系统与器件

書城自編碼： 3813396
分類：簡體書→大陸圖書→教材→研究生/本科/专科教材
作者：马宗敏
國際書號(ISBN)： 9787560665306
出版社：西安电子科技大学出版社
出版日期： 2022-10-01

頁數/字數： /
書度/開本： 16开釘裝：平装

售價：HK$ 56.4

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內容簡介：

本书力图从几类最新的传感器入手介绍新型微机电器件及系统。全书共分七章，主要内容包括: 近年来微机电系统的发展、MEMS惯性器件及系统、回音壁模式微腔器件及系统、典型水声传感器件及系统、典型高温压力传感器件及系统、量子传感器件及系统、柔性传感器件及系统。
本书内容新颖，技术先进，涉及领域广泛，具有比较高的参考价值。本书可供仪器仪表、精密机械、传感器、电子等相关专业的高年级本科生、研究生或相关专业技术人员参考和使用。

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