《高温SiC MEMS传感器的热电特性》 - [澳]丁东安，[澳]阮南中，[澳]陶宗越 - 科学出版社 - 香港大書城

	登入帳戶　 \|　訂單查詢　 \|　購物車/收銀台(0)　\|　在線留言板　 \|　付款方式　 \|　運費計算　 \|　聯絡我們　 \|　幫助中心　\|　加入書簽
		會員登入新用戶登記

HOME

新書上架

暢銷書架

好書推介

2024年度TOP

臺灣用戶

品種：超過100萬種各類書籍/音像和精品，正品正價，放心網購，悭钱省心

服務：香港／台灣／澳門／海外

送貨：速遞／郵局／服務站

新書上架：簡體書繁體書
暢銷書架：簡體書繁體書
好書推介：簡體書繁體書

『簡體書』高温SiC MEMS传感器的热电特性

書城自編碼： 3762496
分類：簡體書→大陸圖書→工業技術→電子/通信
作者： [澳]丁东安，[澳]阮南中，[澳]陶宗越
國際書號(ISBN)： 9787030724892
出版社：科学出版社
出版日期： 2022-06-01

頁數/字數： /
書度/開本： 16开釘裝：平装

售價：HK$ 101.2

我要買件

** 我創建的書架 **
未登入.

新書推薦：

《生存与尊严：律师定位与展业方法（第四版）》
售價：HK$ 74.8

《水电项目鱼类增殖放流技术实践》
售價：HK$ 85.8

《出版的力量：清末至新中国初期的知识分子与工业化出版》
售價：HK$ 77.0

《雍正：天地古今惟一啸（修订版）》
售價：HK$ 79.2

《正学堂稿（全二册）《儒藏》精华编选刊》
售價：HK$ 151.8

《五个夸张的数学故事：支持儿童直接建立数学思维》
售價：HK$ 54.9

《书写中国：从书迹流变溯源中华文明史尔文智识生活系列寻根汉字追踪文脉溯源中华理解中国》
售價：HK$ 173.8

《餐桌边的哲学家：论饮食与人类》
售價：HK$ 52.8

內容簡介：

《高温SiC MEMS传感器的热电特性》主要介绍了碳化硅(SiC)传感器在高温下热电特性的研究进展。《高温SiC MEMS传感器的热电特性》可分为三部分，共七章。第一部分从单层SiC和多层SiC的热阻效应、热电效应、热电子效应和热电容效应等物理效应方面来介绍SiC的热电特性；第二部分介绍了SiC的诸多重要特征以及SiC MEMS的制造流程，总结了SiC传感器、热流传感器和对流惯性传感器的最新进展；第三部分论述了SiC热电传感器的应用前景。

目录第1章　SiC及热电特性简介　11.1　背景　11.2　SiC　31.3　SiC 生长　41.4　热电特性　51.5　高温SiCMEMS传感器　7参考文献　8第2章　SiC热电特性基础　122.1　热阻效应　122.1.1　半导体材料的物理参数与基本概念　142.1.2　单晶碳化硅　152.1.3　多晶破化硅　172.1.4　非晶碳化硅　182.2　热电子效应　182.3　热电容效应　202.4　热电效应　202.5　高温下SiC热电特性的研究现状　212.5.1　热电效应的试验装置　222.5.2　单层SiC的热阻效应　222.5.3　多层SiC的热电效应　312.6　4H-SiCp-n结　332.7　高温下其他热电特性　362.7.1　热电效应　362.7.2　热电容效应　38参考文献　39第3章　高温SiC传感器的理想性能　473.1　灵敏度　473.2　线性度　503.3　热响应时间　513.4　低功耗　533.5　稳定性和其他性能　54参考文献　55第4章　SiCMEMS传感器的制备　604.1　生长与掺杂　604.1.1　SiC的生长　604.1.2　SiC掺杂　624.2　SiC刻蚀　634.2.1　电化学刻蚀　644.2.2　化学刻蚀　654.2.3　干法刻蚀或反应离子刻蚀　654.3　SiC的欧姆接触和肖特基接触　674.3.1　欧姆接触　674.3.2　肖特基接触　714.4　SiCMEMS传感器的制造工艺　744.4.1　表面微加工工艺　744.4.2　体微加工工艺　744.4.3　集成冷却系统的MEMS器件的制备　77参考文献　78第5章　设计和工艺对SiC热器件性能的影响　845.1　衬底影响　845.2　掺杂影响　855.3　表面形貌　875.4　沉积温度　885.5　几何与尺寸　89参考文献　90第6章　SiC热电特性的应用　966.1　温度传感器、温度控制/补偿与热测量　966.1.1　热电阻　976.1.2　p～n结温度传感器　996.2　热阻传感器　1006.2. 1　热线及热膜式流量传感器　1026.2. 2　量热式流量传感器　1076.2.3　飞行时间流量传感器　1086.3　对流加速度计与陀螺仪　1096.3.1　对流加速度计　1096.3.2　对流陀螺仪　1106.4　其他应用　1116.4.1　易燃气体传感器　1116.4.2　集成加热、感知和微流控冷却的SiC MEMS　112参考文献　116第7章　SiC热电传感器展望　1237.1　绝缘体上SiC薄膜　1237.2　SiC热电器件与其他材料的集成　1257.3　SiC热驱动器　1267.4　SiC传感器的发展与挑战　127参考文献　129

書城介紹　 \|　合作申請　\|　索要書目　 \|　新手入門　\|　聯絡方式　 \|　幫助中心　\|　找書說明　 \|　送貨方式　\|　付款方式	香港用户　 \|　台灣用户　\|　海外用户

	megBook.com.hk
Copyright © 2013 - 2025 （香港）大書城有限公司　 All Rights Reserved.