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硅MEMS工艺与设备基础
『简体书』 作者:阮勇,尤政 出版:国防工业出版社 日期:2019-03-01 阮勇、尤政编著的《硅MEMS工艺与设备基础MEMS与微系统系列微米纳米技术丛书》在第1章首先介绍MEMS器件的硅MEMS基本工艺、器件和新材料,在此基础上,第2章阐述MEMS工艺设计规则与工艺误差,第3章至第8章阐述硅MEMS单项工艺,介绍相关工艺原理与典型设备,第9章分析列举了典型的硅MEMS器件结构的工艺制备,第1 ... |
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永远的楷模 无限的思念
『简体书』 作者:尤政 出版:华中科技大学出版社 日期:2024-01-01 本书主要是通过杨叔子院士的领导、同事、朋友、学生、家人和媒体朋友的从不同角度出发书写的纪念文章,通过丰富的资料和鲜活的图片,再现了杨叔子院士的成长、成人、成大家、成大先生的过程,呈现了杨院士一生诗礼传家、科研报国和教书育人的精彩瞬间、典型成果和重要贡献,凸显了杨院士身上具有浓厚爱国情怀和个人气质的科学家精神和教育家思想 ... |
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MEMS技术前沿与应用发展
『简体书』 作者:尤政,赵嘉昊 著 出版:国防工业出版社 日期:2020-06-01 ... |
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北大清华名师演讲录(4)
『简体书』 作者:两校名师讲堂编委会 出版:北京大学出版社 日期:2014-11-20 《北大清华名师演讲录(4)》为北京大学清华大学教授的关于语言学、物理学、图书馆学、生物学等学术演讲集,其中包括方唯硕、尤政、刘国忠、张渭毅、帅石金、蒋绍愚、武际可、李学军、李广建、孙明君、李克非。他们的演讲在内容上充分体现了选题的前沿性、分析的科学性、思想的深刻性;而在风格上则是图文并茂,深入浅出, ... |
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