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半导体干法刻蚀技术（原书第2版）
『简体书』 作者：[日]野尻一男 出版：机械工业出版社 日期：2024-01-01 刻蚀是芯片制造核心工艺，《半导体干法刻蚀技术（原书第2版）》是泛林集团日本公司CTO四十多年研发经验的结晶。泛林集团是全球第三大芯片设备提供商、全球第一大刻蚀设 ... |
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半导体干法刻蚀技术+半导体干法刻蚀技术 原子层工艺 全2册
『简体书』 作者：[日]野尻一男 [美]索斯藤·莱尔 出版：机械工业出版社 日期：2024-06-01 《半导体干法刻蚀技术（原书第2版）》是一本全面系统的干法刻蚀技术论著。针对干法刻蚀技术，在内容上涵盖了从基础知识到最新技术，使初学者能够了解干法刻蚀的机理，而无需复杂的数值公式或方程。《半导体干法刻蚀技术（原书第2版）》不仅介绍了半导体器件中所涉及材料的刻蚀工艺，而且对每种材料的关键刻蚀参数、对应的 ... |
詳情>> | |
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