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应变硅纳米MOS器件辐照效应及加固技术
『简体书』 作者:郝敏如 出版:中国石化出版社有限公司 日期:2020-05-01 本书首先阐述应变Si技术的优势,研究应变对能带结构的改变及器件电学特性的增强机制,详细分析了射线总剂量辐照损伤效应对MOS器件的影响机理;其次,建立应变Si纳米MOS器件阈值电压、跨导等与总剂量辐照以及器件几何、物理参数之间的关系,及栅隧穿及热载流子栅电流模型;*后,研究纳米Si NMOS器件单粒子 ... |
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