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金刚石膜的应用与抛光技术
『简体书』 作者:苑泽伟 出版:科学出版社 日期:2023-05-01 金刚石作为第四代半导体材料,具有极其优越的物理化学特性,在诸多高科技领域具有很好的应用前景。金刚石抛光技术的研究不但突破了金刚石在高科技领域的应用瓶颈,还带动了一些新工艺、新方法和新技术的发展。《金刚 ... |
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