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苑伟政 乔大勇 苑偉政 喬大勇
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微机电系统（MEMS）制造技术
『简体书』 作者：苑伟政，乔大勇 出版：科学出版社 日期：2014-07-01 ... |
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硅微机械陀螺误差建模理论与方法
『简体书』 作者：申强，谢建兵，郝永存，常洪龙，苑伟政 出版：科学出版社 日期：2023-03-01 本书共9章，以硅微机械陀螺为研究对象，通过数学物理方程推导微机电系统宏模型，采用对称拓扑设计微机械陀螺结构，制订简单、高效的工艺加工微机械陀螺，根据精密控制、电学知识设计微机械陀螺测控电路，从而阐明硅微机械陀螺误差产生机理，并为减小误差提供研究思路。本书内容新颖，简明扼要。 ... |
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MEMS集成设计技术及应用
『简体书』 作者：苑伟政 等著 出版：国防工业出版社 日期：2014-11-01 《MEMS集成设计技术及应用》首先在简要介绍MEMSMicroElectroMechanicalSystems设计技术与设计工具基础之上，对MEMS设计的关键技术——系统级设计技术、器件级设计技术、工艺级设计技术以及各层级转换接口技术，进行了详细的分析与论述。然后对基于这些关键技术和泛结构化MEMS ... |
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