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微纳制造与微机电系统
『简体书』 作者:李经民,刘冲,王立鼎 出版:科学出版社 日期:2024-08-01 本书体系严密,深入浅出,将基本概念、工艺技术、典型器件和系统应用相结合,使读者能够全面地理解和掌握微纳制造与微机电系统相关知识。全书共8章,第1章概述MEMS的定义、特点、制造技术、发展历程与未来发展趋势;第2、3章分别介绍体硅和表面微加工技术的原理、流程、常见问题与解决方法;第4章阐述近年来体硅和 ... |
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聚合物微纳制造技术
『简体书』 作者:王立鼎 出版:国防工业出版社 日期:2012-11-01 《微米纳米技术丛书·MEMS与微系统系列:聚合物微纳制造技术》总结了作者王立鼎、刘冲、徐征、李经民、刘军山等十年来在聚合物微纳制造方面的科研成果,并介绍了国内外在这方面最新研究成果和发展动态,力求全面反映聚合物微纳制造技术最新发展水平。阐述了聚合物微纳制造的各项关键技术,涵盖了聚合物材料特性、微纳成 ... |
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