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纳米集成电路制造工艺（第2版）
『简体书』 作者：张汝京 等 出版：清华大学出版社 日期：2017-01-01 本书共19章，涵盖先进集成电路工艺的发展史，集成电路制造流程、介电薄膜、金属化、光刻、刻蚀、表面清洁与湿法刻蚀、掺杂、化学机械平坦化，器件参数与工艺相关性，DFM（Design for Manufac ... |
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半导体产业背后的故事
『简体书』 作者：张汝京 出版：清华大学出版社 日期：2013-02-01 本书遴选了半导体产业发展历史中重要的27项技术发明加以介绍，并着重于技术发明过程背后的一些故事。全书分为27章，内容涉及晶体管、cmos、集成电路技术、浸没式光刻、干法刻蚀、led技术、量子霍尔效应、 ... |
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纳米集成电路制造工艺
『简体书』 作者：张汝京 等编著 出版：清华大学出版社 日期：2014-07-01 本书共分19章，涵盖先进集成电路工艺的发展史，集成电路制造流程、介电薄膜、金属化、光刻、刻蚀、表面清洁与湿法刻蚀、掺杂、化学机械平坦化，器件参数与工艺相关性，DFM（Design for Manufa ... |
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