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半导体薄膜技术与物理（第三版）
『简体书』 作者：叶志镇 出版：浙江大学出版社 日期：2021-06-01 ... |
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半导体薄膜技术与物理（第2版）
『简体书』 作者：叶志镇 出版：浙江大学出版社 日期：2014-12-31 叶志镇、吕建国、吕斌、张银珠编著的《半导体薄膜技术与物理（第2版）》全面系统地介绍了半导体薄膜的各种制备技术及其相关的物理基础。全书共分十章。第一章概述了真空技术，第二至第八章分别介绍了蒸发、溅射、化学气相沉积、脉冲激光沉积、分子束外延、液相外延、湿化学合成等各种半导体薄膜的沉积技术，第九章介绍了半 ... |
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