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史立秋 著
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硅表面可控自组装制造技术及仿真
『简体书』 作者：史立秋 出版：机械工业出版社 日期：2024-11-01 本书介绍了以机械 - 化学方法为主要加工手段，在单晶硅表面制造形状、位置和 功能可控的自组装微纳结构技术，分析了硅表面可控自组装微纳结构的形成机理，建 立了可控自组装微加工系统。为了获得较好的机械刻划表面，分别使用有限元仿真和 分子动力学仿真技术模拟和分析了金刚石刀具对单晶硅表面进行切削的过程，并针对 仿真结果 ... |
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单晶硅超精密加工技术仿真
『简体书』 作者：史立秋 出版：机械工业出版社 日期：2020-05-01 单晶硅作为一种典型的硬脆半导体材料，广泛应用于微电子领域。超精密加工技术可以实现硅表面的高质量加工，但加工方法需要很高的实验条件和工作成本。本书以材料力学、超精密加工等学科为理论基础，建立单晶硅超精密车削的有限元和分子动力学模型，优化切削参数以及刀具参数，解决传统研究中只能通过大量实验来确定*优工艺参数的弊端，降低实验 ... |
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基于机械-化学方法的微纳制造技术
『简体书』 作者：史立秋 著 出版：电子工业出版社 日期：2014-07-01 随着电子器件越来越小型化，如何方便、可控地在单晶硅表面设计和构筑具有特定功能和特性的跨尺度微纳复合结构一直是当今微纳制造领域中的热点和难点问题。本书针对该问题，提出“基于机械-化学方法的硅表面功能性微纳结构制造新方法”这一前沿性课题。全书共6章，叙述应用机械-化学方法在硅表面制造功能性微纳结构的全过 ... |
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