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贾美香 田丽泽 郝晓燕编著 賈美香 田麗
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集成电路制造技术——原理与工艺（修订版）
『简体书』 作者：王蔚，田丽，任明远 编著 出版：电子工业出版社 日期：2013-07-01 本书是哈尔滨工业大学“国家集成电路人才培养基地”教学建设成果，全书分5个单元系统地介绍了当前硅集成电路制造普遍采用的工艺技术。第1单元介绍硅衬底，主要介绍 硅单晶的结构特点，单晶硅锭的拉制，硅片（包含体硅片和外延硅片）的制造工艺及相关理论。第2～5单元介绍硅芯片制造基本单项工艺（氧化与掺杂、薄膜制 ... |
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