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半导体工艺与集成电路制造技术
『简体书』 作者：韩郑生等 出版：科学出版社 日期：2023-03-01 《半导体工艺与集成电路制造技术》将系统地介绍微电子制造科学原理与工程技术，覆盖集成电路制造所涉及的晶圆材料、扩散、氧化、离子注入、光刻、刻蚀、薄膜淀积、测试及封装等单项工艺，以及以互补金属氧化物半导体CMOS集成电路为主线的工艺集成。对 ... |
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半导体制造技术
『简体书』 作者：[美]夸克，[美]瑟达，韩郑生 等译 出版：电子工业出版社 日期：2015-06-01 本书详细追述了半导体发展的历史并吸收了各种新技术资料，学术界和工业界对本书的评价都很高。全书共分20章，根据应用于半导体制造的主要技术分类来安排章节，包括与半导体制造相关的基础技术信息；总体流程图的工艺模型概况，用流程图将硅片制造的主要领域 ... |
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| >>> （頁碼:1/1 行數:20/2） 1 |
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