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等离子体刻蚀工艺及设备
『简体书』 作者：赵晋荣 出版：电子工业出版社 日期：2023-02-01 本书以集成电路领域中的等离子体刻蚀为切入点，介绍了等离子体基础知识、基于等离子体的刻蚀技术、等离子体刻蚀设备及其在集成电路中的应用。全书共8章，内容包括集成电路 ... |
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集成电路与等离子体装备
『简体书』 作者：赵晋荣等 出版：科学出版社 日期：2024-04-01 《集成电路与等离子体装备》主要介绍了集成电路中与等离子体设备相关的内容，具体包括集成电路简史、分类和发展方向以及面临的挑战，气体放电的基本原理和典型应用、等离子 ... |
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