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纳米集成电路制造工艺（第2版）
『简体书』 作者：张汝京 等 出版：清华大学出版社 日期：2017-01-01 超大规模集成电路的生产工艺，从微米级到纳米级发生了许多根本上的变化。甚至，从45nm缩小至28nm（以及更小的线宽）也必须使用许多新的生产观念和技术。张汝京先生 ... |
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纳米集成电路制造工艺
『简体书』 作者：张汝京 等编著 出版：清华大学出版社 日期：2014-07-01 本书共分19章，涵盖先进集成电路工艺的发展史，集成电路制造流程、介电薄膜、金属化、光刻、刻蚀、表面清洁与湿法刻蚀、掺杂、化学机械平坦化，器件参数与工艺相关性，DFM（Design for Manufacturing）， 集成电路检测与分析、 ... |
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