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半导体薄膜技术与物理(第三版)
『简体书』 作者:叶志镇 出版:浙江大学出版社 日期:2021-06-01 本书全面系统地介绍了半导体薄膜的各种制备技术及其相关的物理基础,全书共分十一章。章概述了真空技术,第二至第八章分别介绍了蒸镀、溅射、化学气相沉积、脉冲激光沉积、 ... |
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半导体薄膜技术与物理(第2版)
『简体书』 作者:叶志镇 出版:浙江大学出版社 日期:2014-12-31 介绍半导体薄膜的真空技术;物理气相沉积技术(PVD);化学气相沉积技术(CVD);分子束外延技术;液相外延技术等内容。 ... |
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