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『簡體書』微机电系统(MEMS)工艺基础与应用

書城自編碼: 2800198
分類:簡體書→大陸圖書→教材研究生/本科/专科教材
作者: 邱成军, 曹姗姗, 卜丹
國際書號(ISBN): 9787560351094
出版社: 哈尔滨工业大学出版社
出版日期: 2016-02-01

頁數/字數: 301页
書度/開本: 16 釘裝: 平装

售價:HK$ 72.0

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《微机电系统(MEMS)工艺基础与应用》着重从基本理论和具体应用方面阐述MEMS工艺。主要介绍MEMS的概念、发展现状与趋势及力学相关知识;重点阐述MEMS实现工艺,主要有刻蚀(包括各向同性和各向异性刻蚀的原理、实现的方法、以及刻蚀自停止技术和干法刻蚀),表面微加工工艺的基本原理及其常用材料,硅片键合技术的各种方法、工艺过程及其各自的影响因素,LIGA技术的基本工艺流程和各部分工艺的实现方法;在工艺基础上介绍传感器和执行器的基本原理、应用范围及其工艺流程;最后就MEMS在军事、医疗、汽车方面的应用及对MEMS器件实现检测的方法加以介绍。全书共分为10章,主要内容有:MEMS系统简介,MEMS相关力学基础,体硅加工工艺,表面微加工工艺,硅片键合工艺,LICA技术,MEMS传感器,MES执行器,MEMS的封装,MEMS的应用及检测技术。

 

 

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