《金刚石膜粒子探测器材料》 - 夏义本 - 科学出版社 - 香港大書城

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『簡體書』金刚石膜粒子探测器材料

書城自編碼： 3701732
分類：簡體書→大陸圖書→工業技術→一般工业技术
作者：夏义本
國際書號(ISBN)： 9787030704276
出版社：科学出版社
出版日期： 2022-01-01

頁數/字數： /
書度/開本： 16开釘裝：平装

售價：HK$ 172.5

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內容簡介：

《金刚石膜粒子探测器材料》系统介绍了金刚石膜材料的物理性能、制备工艺技术以及材料与光电探测器件的关系和原理。其物理性能包括膜的结构、表面、界面及掺杂对热和光电性能的影响；制备工艺技术包括不同材质的衬底处理，详尽地描述了微波等离子体和热丝辅助化学气相沉积法制备金刚石膜的工艺及各种检测分析技术；从半导体器件物理原理出发阐述了金刚石膜粒子探测器的性能及与材料间内在联系。详尽报道了国内外该领域的研究动态。

目录
丛书序
前言
章绪论1
1.1金刚石膜的结构1
1.2金刚石膜的优异特性1
1.3化学气相沉积法金刚石膜的制备技术3
1.4金刚石膜在光电领域中的主要应用6
参考文献14
第二章自支撑金刚石膜的制备18
2.1实验设备及原理介绍18
2.2金刚石膜的制备工艺研究20
2.3自支撑金刚石薄膜的性能25
参考文献33
第三章金刚石膜表面导电性能研究35
3.1引言35
3.2实验过程36
3.3自支撑金刚石膜的导电性能36
3.4本章小结45
参考文献46
第四章金刚石膜肖特基场效应晶体管49
4.1引言49
4.2金刚石与金属电极的接触特性49
4.3MESFET器件制备及性能研究53
4.4本章小结55
参考文献56
第五章金刚石膜紫外光探测器57
5.1引言57
5.2ZnO材料概述58
5.3ZnO制备及测试61
5.4实验结果与讨论63
5.5ZnO/金刚石结构紫外光探测器的性能研究69
5.6本章小结73
参考文献74
第六章金刚石厚膜生长及其在微电子器件中的热沉应用78
6.1引言78
6.2氧化铝衬底的碳离子预注入85
6.3氧化铝上金刚石膜的成核分析99
6.4金刚石的厚膜生长及应力分析110
6.5金刚石薄膜/氧化铝复合材料性质研究124
参考文献134
第七章纳米金刚石膜X射线探测器140
7.1纳米金刚石膜的制备和性能表征140
7.2纳米金刚石膜粒子探测器工艺及性能表征154
7.3氢刻蚀对纳米金刚石膜电学和光学性能的影响175
7.4强磁场下纳米金刚石膜生长及性能表征189
参考文献203
第八章金刚石膜α粒子探测器207
8.1CVD金刚石膜粒子探测器的研制207
8.2CVD金刚石膜/硅为基板的微条气体室研制233
参考文献254
第九章粒子探测器读出电路电子系统微机多道谱仪的建立259
9.1前置放大器260
9.2线性成形放大器263
9.3多道脉冲高度分析器266
9.4微机多道谱仪的其它组件267
9.5辐射探测器读出电子学系统微机多道谱仪的建立268
9.6本章小结269
参考文献269
第十章金刚石膜生物传感器及在其它光电声等领域应用270
10.1金刚石基二极管270
10.2金刚石基二极管研究进展270
10.3金刚石在集成电路光刻中的应用274
10.4其它潜在应用282
10.5金刚石薄膜修饰后的应用生物传感器285
10.6结语292
参考文献293

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