《MEMS材料与工艺手册》 - [美]格迪斯，[美]林斌彦著，黄庆安等译 - 东南大学出版社 - 香港大書城

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『簡體書』MEMS材料与工艺手册

書城自編碼： 2412188
分類：簡體書→大陸圖書→工業技術→電子/通信
作者： [美]格迪斯，[美]林斌彦著，黄庆安等译
國際書號(ISBN)： 9787564140533
出版社：东南大学出版社
出版日期： 2014-03-01
版次： 1 印次： 1
頁數/字數： 966/1192000
書度/開本： 16开釘裝：平装

售價：HK$ 514.8

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內容簡介：

微机电系统MEMS技术是一个快速发展的前沿技术领域，使用的材料种类多、工艺方法复杂，需要系统地归纳、分析与整理，以便于读者查阅。《MEMS材料与工艺手册》由利萨·格迪斯著，内容包括MEMS材料，MEMS加工工艺和制造工艺，MEMS工艺集成方法以及工业届已经采用的工艺制造流程案例。本手册适合相关专业高年级本科生、研究生及工程科研技术人员阅读和参考。

1 MEMS设计流程
2 半导体和介质材料的添加工艺
3 金属材料的添加工艺
4 聚合物材料的添加工艺
5 压电材料的添加工艺：压电MEMS
6 形状记忆合金材料与工艺
7 微机械加工中的干法刻蚀
8 MEMS湿法腐蚀工艺和过程
9 MEMS光刻和微加工技术
10 MEMS中的掺杂工艺
11 圆片键合
12 MEMS封装材料
13 表面处理及平坦化
14 MEMS工艺集成

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