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马宗敏
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新型微机电系统与器件
『简体书』 作者：马宗敏 出版：西安电子科技大学出版社 日期：2022-10-01 本书力图从几类最新的传感器入手介绍新型微机电器件及系统。全书共分七章， 主要内容包括: 近年来微机电系统的发展、MEMS惯性器件及系统、回音壁模式微腔器件及系统、典型水声传感器件及系统、典型高温压力传感器件及系统、量子传感器件及系统、柔性传感器件及系统。 本书内容新颖， 技术先进， 涉及领域广泛， ... |
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The Kelvin Probe Force Microscopy and Its Related Technology
『简体书』 作者：马宗敏 出版：清华大学出版社 日期：2019-12-01 本专著主要面向高分辨的扫描探针显微技术，重点是原子力显微镜、开尔文探针力显微镜（KPFM）关键技术及典型应用领域，解决KPFM在测量过程中的耦合，提高系统的检测灵敏度，实现材料原子级高精度与高可靠性测量，为扫描探针技术在精密测量物理领域的基本常数高精度测量提供更为精准的工具和方法。 ... |
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