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新型微机电系统与器件
『简体书』 作者:马宗敏 出版:西安电子科技大学出版社 日期:2022-10-01 本书力图从几类最新的传感器入手介绍新型微机电器件及系统。全书共分七章, 主要内容包括: 近年来微机电系统的发展、MEMS惯性器件及系统、回音壁模式微腔器件及系统、典型水声传感器件及系统、典型高温压力传 ... |
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The Kelvin Probe Force Microscopy and Its Related
『简体书』 作者:马宗敏 出版:清华大学出版社 日期:2019-12-01 本专著主要面向高分辨的扫描探针显微技术,重点是原子力显微镜、开尔文探针力显微镜(KPFM)关键技术及典型应用领域,解决KPFM在测量过程中的耦合,提高系统的检测灵敏度,实现材料原子级高精度与高可靠性测 ... |
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