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电子相变半导体材料手册
『简体书』 作者:陈吉堃 出版:科学出版社 日期:2025-01-01 《电子相变半导体材料手册》系统总结具有电子相变特性的过渡族化合物半导体材料体系,详细介绍其晶体结构、电输运与磁性、电子相转变原理、材料合成与潜在应用等。《电子相变半导体材料手册》共12章,其中第1章总述现有电子相变材料体系以及常见电子相变原理。由于具有相同的价电子数的过渡族元素的化合物中的轨道构型具有一定相近性,第2~ ... |
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薄膜真空沉积中的等离子体探测方法与技术
『简体书』 作者:陈吉堃 出版:科学出版社 日期:2021-10-01 低温等离子体被广泛应用于脉冲激光沉积、磁控溅射、等离子体增强化学气相沉积等现代半导体薄膜真空沉积技术中,并承担着薄膜组分物质输运、薄膜形核与生长动力学调控等关键性角色。由于等离子体性质是联系薄膜真空沉积条件与沉积性能的关键性纽带,以对等离子体性质的表征与探测为突破口并建立其与薄膜沉积条件和性能之间的基础关系,有助于从理 ... |
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