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晶圆级应变SOI技术 晶圆级应变SOI技术
『简体书』 作者：戴显英　　出版：西安电子科技大学出版社　　日期：2024-11-01
进入21世纪以来， 应变硅和SOISilicon-On-Insulator， 绝缘体上硅被公认为是深亚微米和纳米工艺制程维持摩尔定律Moore’s Law和后摩尔定律的两大关键技术， 也被称为21世纪的硅集成电路技术。 本书共分7章， 主要介绍SOI晶圆制备技术、SOI晶圆材料力学特性与结 ...		 詳情>>
售價：HK$ 40.7

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