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微纳制造与半导体器件 周圣军
『简体书』 作者:周圣军 出版:机械工业出版社 日期:2024-08-01 本书基于编者在微纳制造领域的实践经验与研究成果,并结合近年来国际上的最新进展,综合介绍了微纳制造技术与半导体器件工艺。全书分为3 篇,共12章,包括半导体基本原理半导体材料、能带和PN 结、微纳制造工艺掺杂、外延生长技术、光刻工艺、纳米压印光刻技术、刻蚀、沉积技术、半导体器件器件测试分析与 ... |
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Ⅲ族氮化物发光二极管:从紫外到绿光(英文版)
『简体书』 作者:周圣军,刘胜 出版:科学出版社 日期:2022-06-01 《Ⅲ族氮化物发光二极管:从紫外到绿光(英文版)》面向世界科技前沿和国家重大需求,针对高效率Ⅲ族氮化物LED芯片设计和制造的关键问题,基于作者在III族氮化物LED外延生长和芯片制造领域十余年的研究基础和产业化经验,融入国内外同行在这一领域的研究成果,从蓝光绿光紫外LED外延结构设计与材料生长、水 ... |
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氮化镓基发光二极管芯片设计与制造技术
『简体书』 作者:周圣军,刘胜 出版:科学出版社 日期:2019-07-01 本书基于作者多年从事LED芯片设计与制造技术研发和产业化的经验,详细介绍了提高水平结构LED芯片、倒装结构LED芯片和高压LED芯片外量子效率的设计与制造技术。采用微加工技术在水平结构LED芯片的正面、底面和侧面集成微纳光学结构,提高其发光效率。采用高反射率、低阻P型欧姆接触电极和通孔接触式N型电极 ... |
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