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单晶硅超精密加工技术仿真
『简体书』 作者:史立秋 出版:机械工业出版社 日期:2020-05-01 单晶硅超精密加工技术仿真技术,有效解决工艺参数弊端,显著降低实验成本,明显提高加工效率 ... |
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基于机械-化学方法的微纳制造技术
『简体书』 作者:史立秋 出版:电子工业出版社 日期:2014-07-01 随着电子器件越来越小型化,如何方便、可控地在单晶硅表面设计和构筑具有特定功能和特性的跨尺度微纳复合结构一直是当今微纳制造领域中的热点和难点问题。本书针对该问题, ... |
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