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MEMS与微系统?D?D设计、制造及纳尺度工程(第二版)
『简体书』 作者:[美]Tai-Ran Hsu[徐泰然] 出版:电子工业出版社 日期:2017-03-01 同时从电子与机械两个层面介绍MEMS的相关技术。 更大篇幅地介绍了微加工技术以及组装与封装技术。 介绍了微陀螺、微型麦克风与热管的原理。 ... |
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